型号 Model No STZ-VDF-4415
外形尺寸 Dimension L4000xW3800xH3100 mm
有效工作尺寸 Available working size L400xW400xH1500 mm
设备安装功率 Installtion power 140 KW
最高工使用温度 Working temperature 极限 1550°C
极限真空度 Ultimate pressure ≤7X10-1Pa
泄漏率 Leakage rate ≤1.33X10-4 Pa.m3/s
控温精度 Temperature control accur 1°C
温度均匀度 Temperature uniformity ≤8°C
气氛 Atmosphere Vacuum, nitrogen, argon /真空、氮气、氩气
发热体 Heater Graphite 石墨
